1959    R. Feynman paskaita „Ten, apačioje, yra daug vietos“ („Plenty of Room at the Bottom“)

Šie metai laikomi nanotechnologijos pradžia. Richard Feynman postuluoja, kad kažkada bus galima manipuliuoti medžiaga atomų lygyje. Jis teigia: „Fizikos principai, kiek aš suprantu, nedraudžia manipuliuoti medžiaga po vieną atomą. Tai nėra bandymas pažeisti gamtos dėsnius, bet įmanomas dalykas; iki šiol tai nėra padaryta, nes mes esame tiesiog per dideli.“

1974    Užpatentuotas pirmasis molekulinės elektronikos prietaisas

Aviram ir Seiden iš IBM gauna pirmąjį pasaulyje molekulinės elektronikos patentą.

1981    Išrastas skenuojantis tunelinis mikroskopas (STM)

Prietaisas naudoja kvantinio reiškinio – tuneliavimo sroves tarp mikroskopo zondo ir bandinio, kad gauti atominės skyros vaizdus. Po penkerių metų STM išradėjai Heinrich Rohrer ir Gerd Karl Binning apdovanojami Nobelio premija.

1985    Atrasti fulerenai

Atrandami sferiniai dariniai iš 60 anglies atomų. Po 11 metų autoriai Richard Smalley, Robert Curl, Jr. ir Harold Kroto gauna Nobelio premija.

1986    Išrastas atominės jėgos mikroskopas (AJM)

Atominės jėgos mikroskopas pasiekia skenuojančio tunelinio mikroskopo skyrą, nors veikia kaip senovinis fonografas – adata (zondas) slenka paviršiumi ir juda vertikaliai atkartodama paviršiaus reljefą.

Išleista knyga „Kūrimo varikliai“ („Engines of Creation“)

Dr. K. Eric Drexler visuomenei pristato molekulinės nanotechnologijos idėjas, nanotechnologijų potencialą ir galimą grėsmę.

1987    Eksperimentu užregistruotas elektrinio laidumo kvantavimas

Grupės Olandijoje ir Didžiojoje Britanijoje išmatuoja „laiptelių“ pavidalo laidumo kitimą plonytėse juostelėse, taigi laidumas yra kvantuotas. Šie eksperimentai parodo, kad nanoelektronika yra ne tik mažesnė – ji veikia kitaip, nei įprastinė.

Sukurtas pirmasis vieno elektrono tranzistorius

Theodore A. Fulton ir Gerald J. Dolan (Bell laboratorijos) sukonstruoja tranzistorių, kurio perjungiama srovė yra vieno elektrono judėjimas.

1988    Sukurtas pirmas „dirbtinis baltymas“

William deGrado ir jo grupė sukuria naują baltymą „nuo nulio“ ir jį susintetina.

1989    Nanomanipuliacija – užrašas „IBM“ sudėliojamas iš 35 ksenono atomų

Mokslininkai iš IBM įrodo, kad naudojant skenuojančio tunelinio mikroskopo zondą galima tiksliai į reikiamas vietas stumdyti atskirus atomus.

1991    Atrasti anglies nanovamzdeliai

Sumio Iijima atranda grafito vamzdelius (nanovamzdelius), kurie yra neįprastai tvirti ir turi įdomių elektrinių savybių.

1997    Sukurtas nanomechaninis prietaisas su DNR

Nadrian Seeman (New York universitetas) pademonstruoja, kad DNR gali būti panaudota kaip nanomechaninių prietaisų elementas.

1999    Sukurtas molekulinių matmenų jungiklis

Mark Reed ir James M. Tour (Yale universitetas) sukuria organinį vienos molekulės jungiklį.

2001    Nanovamzdelių loginiai elementai

Iš anglies nanovamzdelių sukuriami pirmieji tranzistoriai, po to – ir loginiai elementai (IBM ir Delft universitetas).